正確使用施邁茨干式真空泵
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產(chǎn)品名稱: 正確使用施邁茨干式真空泵
產(chǎn)品型號(hào): 10.03.01.00142 EVE-TR 40 AC3
產(chǎn)品展商: 施邁茨
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
正確使用施邁茨干式真空泵
三葉圓裂片式設(shè)計(jì)和雙圓裂片式設(shè)計(jì)的原理完全相同，只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設(shè)計(jì)有著相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低耗電量，在傳動(dòng)部分有的選用兩個(gè)直流馬達(dá)，但這也會(huì)導(dǎo)致扭矩減小，重新啟動(dòng)的能力—下降。同雙圓裂片式設(shè)計(jì)一樣，三葉圓裂片式設(shè)計(jì)的每**都需要較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯透綦x作用。
正確使用施邁茨干式真空泵
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的詳細(xì)介紹
正確使用施邁茨干式真空泵
干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：
1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；
4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。
雙圓裂片式設(shè)計(jì)和目前流行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常相似。事實(shí)上，一些早期的干泵設(shè)計(jì)思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級(jí)設(shè)計(jì)使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜，并且每**都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。同時(shí)，為了達(dá)到*的真空度，對(duì)各級(jí)的間隙有非常嚴(yán)格的要求。當(dāng)然，這種設(shè)計(jì)由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對(duì)較低。
干式（無油）真空泵
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正確使用施邁茨干式真空泵
